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1、 X射线感光树脂指对X射线 敏感的感光树脂，由于X射线的能量比紫外和可见光高许 多，往往不需要光敏化剂。
2、可以直接使聚合物链发生断裂，引 起聚合物的交联或降解，但是X射线光刻工艺对设备要求 高。
3、结构复杂而昂贵，因此只在特殊场合下使用。
关键词： 特殊场合下 结构复杂 射线光刻
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